Войти
Регистрация
Разделы ГРНТИnavigate_nextОбщие и комплексные проблемы технических и прикладных наук и отраслей народного хозяйстваnavigate_nextВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА

ШифрНазвание 
 
Data pager
Data pager
Записей на странице
PageSizeComboBox
select
Страница 1 из 61, записей с 1 по 10 из 608
ПК0617369 КАРОЛИНА Д12В - АВТОМАТИЧЕСКОЕ МАГНЕТРОННОЕ НАПЫЛЕНИЕ [до 150 мм]
Установка магнетронного напыления на керамические, кремниевые и любые плоские толщиной до 30 мм подложки диаметром до 150 мм. Макс. плоскость обрабатываемых деталей 150 х 650 мм. До 3 подаваемых неагрессивных газов. Рабочее напряжение магнетронов 300 - 650 В.
Производитель: "Электронное Специальное Технологическое Оборудование", НПП
ПК0617370 КАРОЛИНА 15 - ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ
Установка плазмохимического и ионнохимического травления и плазмостимулированного осаждения слоев. Диаметр обрабатываемых полупроводниковых пластин до 200 мм. Время полного обезгаживания 60 мин. Время откачки шлюза до 2 Па 60 с. Давление в шлюзе загрузки - выгрузки 2 Па.
Производитель: "Электронное Специальное Технологическое Оборудование", НПП
ПК0705434 Вакуумная установка плазмохимического осаждения наноструктур "НаноАлмаз"
Установка для осаждения материалов в вакуумном реакторе из газовой фазы с плазмнной активацией (PECVD) для формирования пленочных структур и нанотрубок. Диаметр раб. камеры с ВЧ-реактором/СВЧ плазмы до 150 мм. Шлюзовая система поштучной загрузки-выгрузки подложек.Многоканальная газовая система 2-6 каналов. Безмасляная система откачки. Микропроцессорная система управления. Осаждение пленок SiO2, Si3N4, Si, SiC, алмазоподобных пленок, углеродных нанотрубок и др. Неравномерность травления плюс-минус 4 процента.
Производитель: "НИИ Точного Машиностроения", ОАО
ПК0713783 Блоки предварительного разрежения для вакуумной техники БПР и БВ-1
Блоки для откачки парогазовой смеси и неагрессивных газов, предварительно очищенных от капельной влаги и механическихзагрязнений, из баков электрических аппаратов и герметичных вакуумных систем в процессе монтажа, обслуживания и ремонта маслонаполненных электрических аппаратов на электрических станциях и подстанциях. Предельное остаточное давление полное без газобалласта 6,7х10 в минус 3 степени кПа. Установленная мощность 18 кВт. Макс. температура охлаждающей жидкости 85 градусов Цельсия.
Производитель: "Электротехмонтаж", АОЗТ ПКТБ
ПК0904655 Источник электропитания для вакуумных технологий модификации поверхности серия ApEI
Источники электропитания для вакуумного оборудования по обработке поверхностей. Макс. выходная мощность 1-12 кВт. Выходное напряжение 35-15000 В. Масса 13-250 кг.
Производитель: "Прикладная Электроника" ООО
ПК1103856 Комплект вакуумного оборудования для обработки пластин диаметром до 200 мм "Магна ТМ" + "Плазма ТМ" + "Алмаз ТМ"
Комплект оборудования для нанесения многослойных или многокомпонентных металлических и диэлектрических слоев методом магнетронного распыления; для плазмохимического и реактивно-ионного травления проводящих и диэлектрических материалов; для осаждения проводящих и диэлектрических материалов в вакуумном реакторе .
Производитель: "НИИ Точного Машиностроения" ОАО
ПК1109138 Вакуумное оборудование планарного цикла
Установки плазмохимического травления и осаждения. До 3 одновременно обрабатываемых пластин. Макс. мощность генератора 600 Вт. Частота 13,56 МГц. Температура подогрева до 50 градусов Цельсия. Установки электронно-лучевого напыления. Ускоряющее напряжение до 10 кВ. Емкость ячеек испаритея 2,2 - 15 куб.см. 4 - 6 ячеек. Мощность катодного блока 3 - 6 кВт. Установки быстрого термического отжига. Скорость изменения температуры до 40 градусов Цельсия/с. Температура до 1200 градусов Цельсия. Макс. диаметр обрабатываемых пластин 100 мм. 2 - 3 термопары.
Производитель: Semiteq
ПК1205443 Вакуумная напылительная техника
Установки ионно-лучевого распыления. Энергия ионов до 5000 эВ. Абсолютная величина шероховатости 4 нм. Среднеквадратичное отклонение 0,19 нм. Температура до 90 градусов Цельсия. Установки ионно-лучевой очистки. Энергия ускоренных ионов до 1500 эВ. Установки вакуумные. Системы контроля оптические. Контрольно-измерительное оборудование. Магнетроны. Источники ионные. Блоки питания. Оптические элементы. Фильтры. Стекла. Линзы и др.
Производитель: "Изовак" ООО
ПК06-0017-00 Vakuumpressen Typ PVZ
Вакуум-прессы с двухвальным смесителем. Варианты исполнения. Конструктивные и технологические преимущества. (Выставка "Стройтех-99")
Производитель: KEMA GmbH
ПК06-0147-00 Герметичные вакуммные насосы
Конструкция. Принцип действия. Диаграммы выбора насосов. Производительность до 2870 куб.м/ч. Потребляемая мощность 4,25-75,0 кВт. (Выставка "Химия-99")
Производитель: Lederle GmbH
Рейтинг@Mail.ru